扩散阶段：
1、井式炉强渗阶段的渗速可以按0.15~0.25mm/h估算，武城高频热处理，低碳钢取下限，铬钼钢取上限，根据外试棒层深和表面碳的分数值，确定是否可以进入扩散阶段和扩散时的渗剂滴量。对于不需要扩散的工件，可以开始降温。
2、扩散时，高频热处理加工，渗碳气减少，保护气量增多，扩散时间原则上是强渗时间的1/3~1/4、碳钢是1/4~1/5左右，但具体情况具体分析。
3、扩散期炉压一般控制在50~100pa。
4、炉气碳势略高于技术要求规定的表面碳浓度（分数）值的下限值。
降温出炉阶段：
1、扩散一定时间后，可以出第二只外试棒，检查层深达到技术要求后，即可降温出炉，否则延长扩散时间。
2、扩散结束后，即可断电随炉降温，这时滴剂和扩散相同。
3、如渗碳直接淬火的，一般降至840~860oc保温20~40min ，使零件内外温度均匀后出炉淬火。
4、对需要重新加热淬火的零件，热处理高频炉，可随炉降至860~880oc出炉空冷或入冷却井冷却，夏天空冷缓慢，工件会析出网状碳化物，可用风扇吹冷，也可不降温直接空冷（50crmnti），高温空冷工件表面会加速氧化脱碳。对不渗碳部位预留加工余量的零件，渗碳后出炉空冷或进冷却井。
5、如零件入冷却井，井壁夹层应通水冷却迅速降温，同时向井内通保护气或---使其燃烧，盖好井盖堵死排气孔，使井内呈还原性气氛，以减少氧化脱碳。
工件在加热和冷却过程中，由于表层和心部的冷却速度和时间的不一致，形成温差，就会导致体积膨胀和收缩不均而产生应力，即热应力。在热应力的作用下，由于表层开始温度低于心部，收缩也大于心部而使心部受拉，当冷却结束时，由于心部后冷却体积收缩不能自由进行而使表层受压心部受拉。即在热应力的作用下终使工件表层受压而心部受拉。这种现象受到冷却速度，材料成分和热处理工艺等因素的影响。当冷却速度愈快，含碳量和合金成分愈高，冷却过程中在热应力作用下产生的不均匀塑性变形愈大，后形成的残余应力就愈大。另一方面钢在热处理过程中由于组织的变化即奥氏体向马氏体转变时，因比容的增---伴随工件体积的膨胀，工件各部位先后相变，造成体积长大不一致而产生组织应力。组织应力变化的终结果是表层受拉应力，心部受压应力，恰好与热应力相反。组织应力的大小与工件在马氏体相变区的冷却速度，形状，材料的化学成分等因素有关。
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