真空热处理即真空技术与热处理两个相结合的综合技术，是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的。我国将真空划分为低、中、高和真空。目前大多数真空热处理炉的工作真空度在1.33~1.33×10ˉ³pa。
真空热处理几乎可实现全部热处理工艺，如淬火、退火、回火、渗碳、氮化，在淬火工艺中可实现气淬、油淬、硝盐淬火、水淬等，还可以进行真空钎焊、烧结、表面处理等。真空热处理炉热，油缸热处理，可实现快速升温和降温，可实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。一般来说，---的工件在炉内加热缓慢，内热温差较小，热应力小，因而变形小。产品合格率高。可降低成本，有除气作用，从而提高了工作的机械性能和使用寿命。工作环境好，操作安全，没有污染和公害。---的工件没有氢脆危险，对钛材和难熔金属壳防止表面氢脆，高压油缸热处理工艺，真空热处理工艺的稳定性和重复性好。这一系列的优点，开发真空热处理设备和工艺被越来越重视和应用越来越广。
表面热处理以提高硬度和耐磨性的氮化通常渗氮温度为500—520℃。停留时间取决于渗氮层所需要的厚度，一般以0.01mm/h计算。因此为获得0.25—0.65mm的厚度，所需要的时间约为20—60h。提高渗氮温度，虽然可以加速渗氮过程，但会使氮化物---、粗化，从而使零件表面层的硬度降低。
在热处理工艺中，高频、中频、低频淬火的主要区别：频率有区别，高频250-300khz，中频是2500-8000hz，低频应该是工频，因为只有工频淬火，工频就是50hz，频率越高的话，加热时间越短，也就意味着效率比较高，但淬硬层就薄。高频一般有0.5到2毫米，中频一般有2到10毫米，工频大概10到15毫米.各适用与不同尺寸的和不同淬硬层的工件
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